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摘要：本实用新型涉及一种碳清洗装置，用于清洗位于辐射屏蔽墙内的镜箱内的镜面上的碳，碳清洗装置包括供氧装置和缓冲腔体，供氧装置、缓冲腔体和镜箱依次通过连接管相连，缓冲腔体用于提供缓冲腔，供氧装置用于向缓冲腔和镜箱内输送氧气，缓冲腔体与供氧装置之间的连接管上设有第一微漏阀，镜箱与缓冲腔体之间的连接管上设有第二微漏阀，第二微漏阀与控制装置相连，以通过控制装置控制第二微漏阀的开度；缓冲腔体、供氧装置、第二微漏阀和控制装置位于辐射屏蔽墙外。本实用新型的碳清洗装置，通过控制装置远程控制第二微漏阀的开度，使位于辐射屏蔽墙内的镜箱内的氧气压强动态平衡在第一预设值，从而实现镜箱的碳清洗。
主权项：1.一种碳清洗装置，其特征在于，用于清洗位于辐射屏蔽墙内的镜箱内的镜面上的碳，所述碳清洗装置包括供氧装置和缓冲腔体，所述供氧装置、所述缓冲腔体和所述镜箱依次通过连接管相连，所述缓冲腔体用于提供缓冲腔，所述供氧装置用于向所述缓冲腔和所述镜箱内输送氧气，所述缓冲腔体与所述供氧装置之间的连接管上设有第一微漏阀，所述镜箱与所述缓冲腔体之间的连接管上设有第二微漏阀，所述第二微漏阀与控制装置相连，以通过所述控制装置控制所述第二微漏阀的开度；所述缓冲腔体、所述供氧装置、所述第二微漏阀和所述控制装置位于所述辐射屏蔽墙外。
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百度查询： 中国科学院上海应用物理研究所 碳清洗装置
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