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摘要:本实用新型公开的一种碳化硅结型场效应管,属于场效应管技术领域;包括N型碳化硅衬底、N型碳化硅外延层,所述N型碳化硅衬底部设置漏极导电层,N型碳化硅外延层顶部两侧设置有P+注入区,P+注入区内设置N+注入区,P+注入区顶部设置有与N+注入区对应的源极导电层,两个源极导电层之间设置有栅极导电层,栅极导电层底部设置栅极条,栅极条下方设置氧化层,氧化层抵压置于两个P+注入区之间,通过栅极导电层与P+注入区两侧接触,P+注入区将N+注入区包围,在N+注入区在P+注入区上形成隔绝体,可有效防止栅极导电层与N+注入区直接接触,通过P+注入区将N+注入区包围,并且利用下外延层和N+注入区之间的绝缘层,有效的隔绝了载流子的跃迁。
主权项:1.一种碳化硅结型场效应管,包括N型碳化硅衬底6、N型碳化硅外延层5,所述N型碳化硅衬底6部设置漏极导电层7,N型碳化硅外延层5顶部两侧设置有P+注入区4,其特征在于:P+注入区4内侧设置N+注入区2,P+注入区4顶部设置有与N+注入区2对应的源极导电层1,两个源极导电层1之间设置有栅极导电层3,栅极导电层3底部设置栅极条9,栅极条9下方设置氧化层8,氧化层8抵压置于两个P+注入区4之间。
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