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摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种减振装置及半导体设备，所述减振装置包括：至少三个空气弹簧组件和执行器组件；所述空气弹簧组件包括垂向空气弹簧和水平空气弹簧，所述垂向空气弹簧用于提供垂向支撑和减振，所述水平空气弹簧用于提供水平支撑和减振；所述执行器组件包括垂向直线电机和水平向直线电机，所述垂向直线电机用于提供垂向减振，所述水平向直线电机用于提供水平减振。通过上述被动减振以及主动减振的结合，解决了半导体设备振动敏感部件动态变化大、受振动干扰变性强的问题，同时解决了半导体设备上减振元件只能对某一特定的窄频段振动起到阻尼减振作用，且无法有效抑制低频振动的问题。
主权项：1.一种减振装置，其特征在于，包括：至少三个空气弹簧组件和执行器组件；所述空气弹簧组件设置于基础平台与负载平台之间，至少三个所述空气弹簧组件不共线设置；所述空气弹簧组件包括垂向空气弹簧和水平空气弹簧，所述垂向空气弹簧用于为所述负载平台提供垂向支撑和减振，所述水平空气弹簧用于为所述负载平台提供水平支撑和减振；所述执行器组件包括垂向直线电机和水平向直线电机，所述垂向直线电机连接于所述基础平台与所述负载平台之间，用于为负载平台提供垂向减振，所述水平向直线电机连接于所述基础平台与所述负载平台之间，用于为负载平台提供水平减振。
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百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 减振装置及半导体设备
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