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摘要：本申请涉及一种推舟设备和原子层沉积设备，涉及薄膜沉积技术领域，该推舟设备包括底座、驱动件、托盘、支撑装置以及缓冲装置，驱动件设于底座上；托盘的一端与驱动件连接；支撑装置与底座活动连接，支撑装置用于支撑托盘远离驱动件的一端；缓冲装置与支撑装置连接，缓冲装置位于底座的下方；缓冲装置用于跟随支撑装置移动，并在支撑装置接触托盘前，抵接底座的底部，以减缓支撑装置朝托盘移动的速度。该推舟设备和原子层沉积设备可以减缓支撑装置对托盘的冲击。
主权项：1.一种推舟设备，其特征在于，包括：底座110；驱动件120，设于所述底座110上；托盘130，所述托盘130的一端与所述驱动件120连接；支撑装置140，与所述底座110活动连接，所述支撑装置140用于支撑所述托盘130远离所述驱动件120的一端；缓冲装置150，与所述支撑装置140连接，所述缓冲装置150位于所述底座110的下方；所述缓冲装置150用于跟随所述支撑装置140移动，并在所述支撑装置140接触所述托盘130前，抵接所述底座110的底部，以减缓所述支撑装置140朝所述托盘130移动的速度。
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百度查询： 株洲三一硅能技术有限公司 推舟设备和原子层沉积设备
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