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摘要：本实用新型涉及基于超透镜的UTC‑PD器件、集成芯片以及光纤信号处理器，基于超透镜的UTC‑PD器件，包括：衬底层；超透镜，于衬底层的远离器件层的表面经过刻蚀工艺形成预设形状的超透镜，用于将接收到的外部光信号进行聚焦；器件层，器件层位于所述衬底层之上，所述器件层的有源区的中心与超透镜的中心在衬底层所在平面上的投影重合，用于实现将经过超透镜聚焦过的光信号最大限度的转化为电信号。集成芯片包括超透镜的UTC‑PD器件及硅衬底层核光栅耦合器，本方案，在一定程度上提高了被UTC‑PD的器件层吸收到光信号的比例，进而也确保了UTC‑PD的器件层的有源区的性能，同时省去了超透镜与UTC‑PD的衬底层的集成过程，在工艺上很大程度上提高了集成效率。
主权项：1.基于超透镜的UTC-PD器件，其特征在于，包括：衬底层；超透镜，于衬底层的远离器件层的表面经过刻蚀工艺形成预设形状的超透镜，用于将接收到的外部光信号进行聚焦；器件层，器件层位于所述衬底层之上，所述器件层的有源区的中心与超透镜的中心在衬底层所在平面上的投影重合，用于实现将经过超透镜聚焦过的光信号最大限度的转化为电信号。
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百度查询： 无锡芯光互连技术研究院有限公司 基于超透镜的UTC-PD器件、集成芯片以及光纤信号处理器
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