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摘要：本申请实施例提供了一种加热器装置以及沉积设备，加热器装置包括：加热器，所述加热器具有承载基片的承载面；基座，所述基座与所述加热器的背对所述承载面的一侧相连接；调节组件，所述调节组件与所述基座相连接，以带动所述加热器沿平行于所述承载面的方向移动。本申请实施例至少有利于提升加热器装置的性能。
主权项：1.一种加热器装置，其特征在于，包括：加热器，所述加热器具有承载基片的承载面；基座，所述基座与所述加热器的背对所述承载面的一侧相连接；调节组件，所述调节组件与所述基座相连接，以带动所述加热器沿平行于所述承载面的方向移动。
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百度查询： 江苏首芯半导体科技有限公司 加热器装置以及沉积设备
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