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摘要：本实用新型提供一种氮化镓外延片生长用基座，包括基座盘，所述基座盘顶部均匀开设有多个凹槽，所述凹槽内侧活动安装有限位筒，所述限位筒内部固定连接有吸附盘，所述吸附盘上表面吸附有氮化镓外延片；所述基座盘顶部开设有安装槽，所述安装槽内侧设有自动取放机构，所述自动取放机构包括多个套环，多个所述套环相对应设于限位筒外侧壁上。本实用新型设计合理，通过安装槽、气缸、执行杆、连接杆、套环和橡胶圈的设置配合，能够自动实现对多个限位筒的取放功能，取放更加的方便快捷，提高了氮化镓外延片的取放效率。
主权项：1.一种氮化镓外延片生长用基座，其特征在于：包括基座盘（1），所述基座盘（1）顶部均匀开设有多个凹槽（101），所述凹槽（101）内侧活动安装有限位筒（2），所述限位筒（2）内部固定连接有吸附盘（3），所述吸附盘（3）上表面吸附有氮化镓外延片；所述基座盘（1）顶部开设有安装槽（102），所述安装槽（102）内侧设有自动取放机构，所述自动取放机构包括多个套环（4），多个所述套环（4）相对应设于限位筒（2）外侧壁上。
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百度查询： 南京集芯光电技术研究院有限公司 一种氮化镓外延片生长用基座
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