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摘要：本申请提供一种三维电容结构。本申请提供的三维电容结构，包括：基底、至少一个堆叠结构、隔离层、第一电极和第二电极；堆叠结构形成于基底上；每个堆叠结构的第一侧面和第二侧面中的至少一个侧面呈台阶状结构；第一侧面和第二侧面为长边上的两个侧面；隔离层形成于堆叠结构之上，并与堆叠结构形成平面；隔离层内部形成有第一电极导线组及第二电极导线组，第一电极导线组通过台阶状结构连通所有堆叠结构或部分堆叠结构的奇数级电极层，第二电极导线组通过台阶状结构连通所有堆叠结构或部分堆叠结构的偶数级电极层；第一电极通过第一电极导线组与奇数级电极层连通；第二电极通过第二电极导线组与偶数级电极层连通。
主权项：1.一种三维电容结构，其特征在于，所述三维电容结构包括基底、至少一个堆叠结构、隔离层、第一电极和第二电极；其中，所述至少一个堆叠结构形成于所述基底上；所述至少一个堆叠结构中的每个堆叠结构的第一侧面和第二侧面中的至少一个侧面呈台阶状结构；所述每个堆叠结构包括交替层叠的n+1层电极层和n层介电层，所述n为正整数；其中，所述每个堆叠结构的长宽比大于1，所述第一侧面和所述第二侧面为所述每个堆叠结构在长边上的两个侧面；所述隔离层形成于所述至少一个堆叠结构之上，并与所述至少一个堆叠结构形成平面；所述隔离层内部形成有第一电极导线组及第二电极导线组，所述第一电极导线组通过所述台阶状结构连通所述至少一个堆叠结构中的所有堆叠结构或部分堆叠结构的奇数级电极层，所述第二电极导线组通过所述台阶状结构连通所述至少一个堆叠结构中的所有堆叠结构或部分堆叠结构的偶数级电极层；所述第一电极通过所述第一电极导线组与所述奇数级电极层连通；所述第二电极通过所述第二电极导线组与所述偶数级电极层连通。
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百度查询： 苏州凌存科技有限公司 一种三维电容结构
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