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摘要：本申请公开了一种槽式设备清洗机隧道式烘干装置，包括烘干机架；隧道式外壳；输送机构包括安装在烘干支架上的输送动力单元，且所述烘干机架上依次排列有两排辊轴；所述输送动力单元和两排辊轴上绕设有输送带；所述烘干机架上安装有对应输送带机构的清洁结构；多个依次排列在所述烘干机架上、且对应所述输送带的烘干机构；所述烘干机构包括：安装在所述烘干机架上的热风单元；与所述热风机构连通的热风管路；分设于所述烘干机架上的输送带下部的下烘干单元、输送带上方的上烘干单元；所述上烘干单元和所述下烘干单元连通所述热风管路。本发明不存在热风吹硅片死角，减少烘干时间至500S，不会有水滴的残留，提高了产能。
主权项：1.槽式设备清洗机隧道式烘干装置，装设在槽式设备清洗机中，且所述槽式设备清洗机上装配有对应所述隧道式烘干装置的上料机械手、以及对应所述隧道式烘干装置的下料架；其特征在于，所述隧道式烘干装置包括：烘干机架；装设于所述烘干机架上部的隧道式外壳；设于所述烘干机架上的输送机构，所述输送机构包括安装在烘干支架上的输送动力单元，且所述烘干机架上依次排列有两排辊轴；所述输送动力单元和两排辊轴上绕设有输送带；所述烘干机架上安装有对应输送带机构的清洁结构；多个依次排列在所述烘干机架上、且对应所述输送带的烘干机构；所述烘干机构包括：安装在所述烘干机架上的热风机构；与所述热风机构连通的热风管路；分设于所述烘干机架上的输送带下部的下烘干单元、输送带上方的上烘干单元；所述上烘干单元和所述下烘干单元连通所述热风管路。
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