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摘要：本申请涉及一种退火支架，包括连接框架以及支撑杆，所述支撑杆设置有若干个，若干个所述支撑杆环绕连接框架分布，所述支撑杆远离连接框架的一端设置有支撑垫块，设置有连接框架，通过连接框架对支撑杆进行连接，然后在支撑杆上设置有支撑垫块，在需要对硅片进行退火处理时，将硅片放置于若干个支撑垫块上进行支撑，且连接框架相对于放置板，连接框架的透气性能较高，有利于气流穿过，从而对硅片的整体进行均匀的降温。本申请具有提高硅片的散热效果的效果。
主权项：1.一种退火支架，其特征在于：包括连接框架（1）以及支撑杆（2），所述支撑杆（2）设置有若干个，若干个所述支撑杆（2）环绕连接框架（1）分布，所述支撑杆（2）远离连接框架（1）的一端设置有支撑垫块（21）。
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百度查询： 北京凯德石英股份有限公司 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种退火支架
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