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摘要：本发明公开了使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述锭使用固相硼酸作为硼源用硼进行掺杂。硼酸可在锭生长期间用于反向掺杂所述锭。还公开使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述固相掺杂物可经安置在经移动而更靠近熔融物的表面的容器中，或蒸发单元可用于从所述固相掺杂物制造掺杂物气体。
主权项：1.一种用于制造经掺杂单晶硅锭的拉锭器设备，所述拉锭器设备包括：拉锭器外壳体；拉锭器内腔室，其形成在所述拉锭器外壳体内；坩埚，其安置在所述拉锭器内腔室内；外馈送管，其至少部分安置在所述拉锭器外壳体外部，所述外馈送管界定外馈送管腔室且具有远端、近端及延伸穿过所述远端及所述近端的外馈送管轴线；细长构件，其能够在所述外馈送管腔室内沿着所述外馈送管轴线移动，所述细长构件是管、杆或轴件；及掺杂物容器，其耦合到所述细长构件，使得所述细长构件沿所述外馈送管轴线的移动致使所述掺杂物容器沿所述外馈送管轴线移动，所述掺杂物容器能够在装载位置与馈送位置之间移动，在所述装载位置中所述掺杂物容器经安置在所述拉锭器外壳体外部，在所述馈送位置中所述掺杂物容器经安置在所述拉锭器内腔室内。
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备
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