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一种具有贯穿型通孔的TaC涂层及其应用专利

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申请/专利权人:山东天岳先进科技股份有限公司

申请日:2023-06-15

公开(公告)日:2024-12-17

公开(公告)号:CN119145056A

专利技术分类:..碳化物[2006.01]

专利摘要:本申请公开了一种具有贯穿型通孔的TaC涂层及其应用,属于半导体制备技术领域。所述TaC涂层沉积在所述石墨基材表面,所述TaC涂层中含有贯穿型通孔。该TaC涂层能够提高石墨基材的耐温性和耐化学侵蚀性,并且TaC涂层中含有的贯穿型通孔,能够保证晶体生长中原料气氛传输的同时使得提高温场的均匀性,从而降低晶体中的体内应力。

专利权项:1.一种具有贯穿型通孔的TaC涂层,其特征在于,所述TaC涂层沉积在所述石墨基材表面,所述TaC涂层中含有贯穿型通孔。

百度查询: 山东天岳先进科技股份有限公司 一种具有贯穿型通孔的TaC涂层及其应用

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