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摘要：本发明公开了一种基于BCB键合的柔性衬底单端口SAW谐振器，涉及表面声波器件技术领域。本发明提供了一种热应力缓冲结构，有效解决了压电薄膜材料与异质衬底，尤其是柔性衬底的晶格失配和热失配问题，从而实现了高质量LiNbO3压电单晶薄膜的生长；柔性SAW谐振器有着较高灵敏度和可观的应变范围，且重复性和稳定性良好，为共形声学应变传感器的研制和应用提供了新的技术途径；采用柔性衬底，将SAW谐振器集成于曲面上，具有一定的弯曲能力，解决了无法在曲面上实现共形集成或兼容可穿戴电子的问题。
主权项：1.一种基于BCB键合的柔性衬底单端口SAW谐振器，其特征在于：包括热应力缓冲结构；所述热应力缓冲结构包括依次连接的金属电极层1、压电薄膜层2、可选功能层3、BCB键合层4和柔性衬底5；其中：金属电极层1，用于提供电流的通路，使得SAW谐振器响应外部应变的变化，并将变化转换为电信号；压电薄膜层2，用于产生压电效应，将机械应变转换为电信号；可选功能层3，用于制备声反射结构，提高SAW谐振器的性能；BCB键合层4，用于键合柔性衬底5；柔性衬底5，用于将SAW谐振器集成于曲面上，实现共性集成或可穿戴电子应用。
权利要求：
百度查询： 南通昱萌电子科技有限公司 一种基于BCB键合的柔性衬底单端口SAW谐振器
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