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摘要：本发明涉及光谱测量技术领域，具体涉及一种静态表面轮廓的光谱共焦测量系统，该系统包括：匀场复色光面光源发出光源光束，面视场色差物镜接收光源光束，并将不同波长的光线照射到被测物体的不同深度上，再将被测物体返回的光线投射至数字微镜器件，该数字微镜器件控制微镜阵列的倾角变化，并模拟出小孔阵列结构，以调控面视场色差物镜投射的光线的反射方向，面视场高光谱成像仪接收数字微镜器件调控后的反射光束，并对反射光束进行光谱分析和成像处理。本发明实现了无需物理移动被测物体的快速、高精度测量方法，不仅提高了测量速度和精度，还减少了系统的复杂性和维护需求。
主权项：1.一种静态表面轮廓的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述系统包括：匀场复色光面光源、面视场色差物镜、数字微镜器件以及面视场高光谱成像仪；所述匀场复色光面光源，用于发出光源光束；所述面视场色差物镜，位于所述匀场复色光面光源与被测物体之间，所述面视场色差物镜用于接收所述匀场复色光面光源发出的所述光源光束，并将不同波长的光线照射到所述被测物体的不同深度上，再将所述被测物体返回的光线投射至所述数字微镜器件；所述数字微镜器件，位于所述面视场色差物镜与所述面视场高光谱成像仪之间，所述数字微镜器件用于控制微镜阵列的倾角变化，并模拟出小孔阵列结构，以调控所述面视场色差物镜投射的光线的反射方向；所述面视场高光谱成像仪，用于接收所述数字微镜器件调控后的反射光束，并对所述数字微镜器件调控后的反射光束进行光谱分析和成像处理。
权利要求：
百度查询： 国科大杭州高等研究院 一种静态表面轮廓的光谱共焦测量系统
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