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申请/专利权人：惠然科技有限公司
申请日：2024-11-13
公开（公告）日：2024-12-17
公开（公告）号：CN119151995A
专利技术分类：..使用基于特征的方法，如角、段[2017.01]
专利摘要：本申请涉及扫描电子显微镜技术领域，公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括：采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流；对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分，以提取放置样品台的初始掩码；基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息，使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码；以及根据所述目标掩码和所述目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测。利用本申请的方案，可以确定准确的运动目标，提高碰撞检测的精度。
专利权项：1.一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法，其特征在于，包括：采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流；对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分，以提取放置样品台的初始掩码；基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息，使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码；以及，根据所述目标掩码和目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测，其中对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分，以提取放置样品台的初始掩码包括：对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分，以确定运动像素掩码；基于所述运动像素掩码确定目标连通域；以及，根据所述目标连通域的轮廓计算外轮廓点的凸包，并填充所述凸包来提取放置样品台的所述初始掩码；其中所述碰撞监测模型包括编码器、融合模块和解码器，并且基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息，使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码包括:以所述初始掩码作为提示信息，使用所述编码器提取当前帧图像的掩码特征；使用所述融合模块将所述掩码特征和所述历史帧图像信息进行融合，获得融合结果；以及，基于所述融合结果，使用所述解码器进行解码操作，以提取当前帧中放置样品台的所述目标掩码。
百度查询： 惠然科技有限公司 用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质
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