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摘要:本申请提供了一种粒子矫正装置、粒子矫正器模组和粒子系统,涉及粒子技术领域。其中,粒子矫正装置包括M个微矫正器和信号线组,M为大于或者等于1的整数。每个微矫正器包括通孔和设置于通孔周侧的多个电极。每个上述电极与信号线组中的一根信号线连接,从而可以向上述每个电极分别输入一定的电压值,以在对应的通孔内产生矫正电场。通过调整输入至每个电极的电压值,可以调整矫正电场的方向和强度,从而针对每个粒子束调整对应粒子束的倾角、偏移量和像散等参数,调整粒子束的精确性。粒子矫正装置的信号线组的区域的至少一个表面设置有第一屏蔽层,可以屏蔽信号线组产生的干扰电场,以减少微矫正器受到的信号线组的串扰。
主权项:一种粒子矫正装置,其特征在于,包括粒子矫正板,所述粒子矫正板包括M个通孔、多个电极、信号线组和第一屏蔽层,其中:每个所述通孔周侧设置的多个所述电极,每个所述电极与所述信号线组中的一根信号线连接,所述多个电极用于在对应的所述通孔内产生矫正电场;所述第一屏蔽层位于所述信号线组沿所述通孔的中心轴方向的一端或者两端,用于屏蔽所述信号线组产生的干扰电场;其中,M为大于或等于1的整数。
权利要求:
百度查询: 华为技术有限公司 粒子矫正装置、粒子矫正器模组和粒子系统
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