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摘要：本申请公开了一种埚托气相沉积装料工装，工装包括用于放置埚托的框架，框架上设置有多层水平的放置平台，放置平台位于框架相互平行的两个相对面，任一放置平台上设置有多个面向框架内部凸起的水平定位卡，相邻定位卡之间形成用于放置埚托的装料槽；其中，埚托自上依次竖直插入在多层放置平台的装料槽中，且埚托外圆周位于两侧放置平台的装料槽中，埚托端面与定位卡侧边抵持。本申请能使工艺气体不受阻碍，确保所有埚托都能全方位接触到工艺气体，使埚托的气相增密效果明显。
主权项：1.一种埚托气相沉积装料工装，其特征在于，包括用于放置埚托的框架，所述框架上设置有多层水平的放置平台，所述放置平台位于所述框架相互平行的两个相对面，任一所述放置平台上设置有多个面向所述框架内部凸起的水平定位卡，相邻所述定位卡之间形成用于放置所述埚托的装料槽；其中，所述埚托自上依次竖直插入在多层所述放置平台的所述装料槽中，且所述埚托外圆周位于两侧所述放置平台的所述装料槽中，所述埚托端面与所述定位卡侧边抵持。
权利要求：
百度查询： 浙江星辉新材料科技有限公司 一种埚托气相沉积装料工装
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