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申请/专利权人：株式会社菲尔光学
申请日：2022-09-26
公开（公告）日：2024-12-20
公开（公告）号：CN119173354A
专利技术分类：...用于制造槽或沟的，例如刻出一个断开的起始槽[2014.01]
专利摘要：本发明公开一种利用红外线激光的快速精密贯通孔形成方法，通过利用结合有至少一个驱动部的镜面结构物来进行扫描的方式向被加工件依次照射调制出的一个贝塞尔光束来快速精密地将其微加工成各种形态的大小或形状来形成改变被加工件性状的激光扫描加工图案后再进行湿式蚀刻，因此，与以往相比，不仅可以显著缩短激光加工时间，对被加工件快速地进行激光加工，还可以缩短蚀刻时间，提高生产效率。
专利权项：1.一种利用红外线激光的快速精密贯通孔形成方法，其特征在于，包括：步骤a，使红外线激光装置对准被加工件的上部；步骤b，将从上述红外线激光装置射出的激光光束调制成贝塞尔光束；步骤c，实施对被加工件的各个贯通孔形成区域以扫描方式依次分别照射调制出的上述贝塞尔光束的激光加工处理，形成局部改变上述被加工件的性状的激光扫描加工图案；以及步骤d，对形成有上述激光扫描加工图案的被加工件进行蚀刻来在各个上述贯通孔形成区域形成贯通孔。
百度查询： 株式会社菲尔光学 利用红外线激光的快速精密贯通孔形成方法
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