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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2022-07-11
公开（公告）日：2024-12-20
公开（公告）号：CN119173997A
专利技术分类：...利用互连在器件中的分离元件间传输电流[2006.01]
专利摘要：本公开的实施例涉及用于从特征的顶表面及侧壁选择性移除金属材料的方法。借由流动性聚合物材料覆盖的金属材料保持不受影响。在一些实施例中，金属材料借由物理气相沉积形成，从而导致相对薄的侧壁厚度。在从顶表面移除金属材料之后余留在侧壁上的任何金属材料可借由额外蚀刻工艺蚀刻。在特征底部处的所得金属层促进特征的选择性金属间隙填充。
专利权项：1.一种选择性金属移除的方法，所述方法包含以下步骤：在其中形成有至少一个特征的基板表面上形成流动性聚合物膜，所述至少一个特征具有顶表面处的具开口宽度的开口、至少一个侧壁及底部，所述至少一个特征从所述顶表面到所述底部延伸特征深度，所述流动性聚合物膜在所述至少一个特征内形成并且具有小于或等于所述特征深度的聚合物深度；以及从所述顶表面选择性移除金属材料的至少一部分而不实质上影响所述聚合物膜之下的任何材料。
百度查询： 应用材料公司 使用流动性聚合物的选择性金属移除
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