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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2019-06-07
公开（公告）日：2024-12-20
公开（公告）号：CN119170471A
专利技术分类：.电子或离子显微镜；电子或离子衍射管[2006.01]
专利摘要：本公开涉及用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法。一种多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
专利权项：1.一种非瞬态计算机可读介质，存储指令集，所述指令集能够由包括束配置系统和样品台的多束工具的一个或多个处理器执行，以使所述多束工具执行包括以下步骤的方法：指示所述束配置系统将带电粒子束阵列相对于待被所述多束工具扫描的样品旋转一旋转角度，所述一旋转角度基于所述带电粒子束阵列的行中的束数量来确定，其中所述多束工具生成带电粒子的一次束，并且将所述一次束分成所述带电粒子束阵列。
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法
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