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申请/专利权人：苏州芯海半导体科技有限公司

申请日：2024-12-18

公开（公告）日：2025-01-14

公开（公告）号：CN119315488A

专利技术分类：.对过电流响应的（对因过电流引起的异常温度响应的入H02H5/04）[2006.01]

专利摘要：本发明涉及晶圆烘干机电路保护技术领域，尤其为一种晶圆加工烘干的烘干机过载保护设备，包括电路保护装置、电路选择装置以及插电装置，第一阻尼弹簧装配放置在第二卡盘顶部，将上槽盘装配放置在第一套盘顶部，塞块底部装配放置在上槽盘顶部，将第二导电壳底部装配放置在塞块顶部，将上输电架与第一卡盘装配放置，第一导电壳与柱块底端装配放置，第二阻尼弹簧装配放置在第三卡盘底部，将下输电架装配放置在第四卡盘顶部，下槽盘底端装配放置在对盘顶部，第二套盘底部与下槽盘顶部装配放置，本发明中，通过上述的第一阻尼弹簧、第二阻尼弹簧以及熔断丝提供了便于装配、更换的按压式安装结构，便于对导电连接结构进行更换。

专利权项：1.一种晶圆加工烘干的烘干机过载保护设备，包括电路保护装置（1）、电路选择装置（2）以及插电装置（3），其特征在于：所述电路保护装置（1）顶部设置有电路选择装置（2），所述电路保护装置（1）底部设置有插电装置（3），所述电路保护装置（1）包括第一机壳（101）、第二机壳（102）、安装板（103）、第一卡盘（104）、第二卡盘（105）、第三卡盘（106）、第四卡盘（107）、上输电架（108）、熔断装置（109）、输电装配结构（110）、下输电架（111）、环槽（112）、第一卡槽（113）、第二卡槽（114）以及环条（115），所述第一机壳（101）顶端、底端以及第二机壳（102）顶端、底端均固定设置有带有内螺纹孔的安装板（103），所述第一机壳（101）内部固定设置有第一卡盘（104）、第二卡盘（105）、第三卡盘（106）以及第四卡盘（107），所述上输电架（108）包括圆块（1081）、柱块（1082）、条板（1083）以及槽孔（1084），所述圆块（1081）底端固定设置有柱块（1082），所述圆块（1081）靠近电路选择装置（2）一端固定设置有条板（1083），所述条板（1083）内部开设有槽孔（1084），所述输电装配结构（110）包括垫盘（1101）、塞块（1102）、第一阻尼弹簧（1103）、第一套盘（1104）、第二阻尼弹簧（1105）、第二套盘（1106）、导电软线（1107）、上槽盘（1108）以及下槽盘（1109），所述垫盘（1101）内部固定设置有塞块（1102），所述第二卡盘（105）顶部装配放置有第一阻尼弹簧（1103），所述第一阻尼弹簧（1103）顶端支杆固定设置有第一套盘（1104），所述第三卡盘（106）底部装配放置有第二阻尼弹簧（1105），所述第二阻尼弹簧（1105）底端支杆固定设置有第二套盘（1106），所述导电软线（1107）的顶部端线与上槽盘（1108）焊接固定设置，所述导电软线（1107）的底部端线与下槽盘（1109）焊接固定设置，所述下输电架（111）包括置盘（1111）、对盘（1112）、连板（1113）以及连接块（1114），所述置盘（1111）顶端固定设置有对盘（1112），所述置盘（1111）靠近插电装置（3）一端固定设置有连板（1113），所述连板（1113）底部固定设置有连接块（1114）。

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