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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2023-07-06
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119325527A
专利技术分类：..具有隔膜[2021.01]
专利摘要：一种包括电解装置的系统包括：阳极，所述阳极被配置为用于连接到电压源的第一极；阴极，所述阴极被配置为用于连接到所述电压源的第二极；流体入口，所述流体入口被配置为允许流体流进入所述电解装置；和流体出口，所述流体出口被配置为允许所述流离开所述电解装置，所述电解装置被配置为使所述流沿着流动轴线具有流动速度轮廓，所述流动速度轮廓在所述阳极与所述阴极之间在所述流动轴线处具有相对较高的流动速度，并且其中，所述流动速度在远离所述流动轴线且更接近所述阳极和所述阴极的位置处变得相对较低，其中，所述电解装置具有使所述流动速度轮廓在所述流到达所述阳极或所述阴极时是至少部分发展的层流的进入长度。
专利权项：1.一种包括电解装置的系统，具有：阳极，所述阳极被配置为用于连接到电压源的第一极；阴极，所述阴极被配置为用于连接到所述电压源的第二极；流体入口，所述流体入口被配置为允许流体流进入所述电解装置；以及流体出口，所述流体出口被配置为允许所述流离开所述电解装置，所述电解装置被配置为使所述流沿着流动轴线具有流动速度轮廓，所述流动速度轮廓在所述阳极与所述阴极之间在所述流动轴线处具有相对较高的流动速度，并且其中，所述流动速度在远离所述流动轴线且更接近所述阳极和所述阴极的位置处变得相对较低，其中，所述电解装置具有使所述流动速度轮廓在所述流到达所述阳极或所述阴极时是至少部分发展的层流的进入长度。
百度查询： ASML荷兰有限公司 层流电解装置
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