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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
申请日：2024-12-19
公开（公告）日：2025-01-21
公开（公告）号：CN119332195A
专利技术分类：.以镀覆材料为特征的[2006.01]
专利摘要：本申请涉及靶材制备技术领域，提供了一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池，包括：将二氧化硅块体与含磷的化合物进行熔炼处理，然后冷却、破碎得到硅磷氧化物粉；将硅磷氧化物粉进行还原处理，得到硅磷合金粉；利用硅粉对硅磷合金粉进行包覆处理，得到复合粉；将复合粉热喷涂到背管上，然后机加工得到掺杂磷的硅靶材。本申请通过将二氧化硅和含磷的化合物进行熔炼，使二者充分反应，从而冷却固化后形成均匀、化学性质稳定的硅磷氧化物粉，使其在还原后形成更加均匀稳定的硅磷合金粉，因此制得的硅靶材的组织均匀性更好，并利于控制硅靶材的磷含量。利用硅粉对硅磷合金粉进行包覆，降低喷涂过程中磷的挥发，因此能更好的控制硅靶材的磷含量。
专利权项：1.一种掺杂磷的硅靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将二氧化硅块体与含磷的化合物粉进行熔炼处理，然后冷却、破碎得到硅磷氧化物粉；所述含磷的化合物粉为磷酸盐或五氧化二磷粉；将所述硅磷氧化物粉进行还原处理，得到硅磷合金粉；利用硅粉对所述硅磷合金粉进行包覆处理，得到复合粉；将所述复合粉热喷涂到背管上，然后机加工得到掺杂磷的硅靶材。
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种掺杂磷的硅靶材及其制备方法和光伏电池
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