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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日：2023-10-23
公开（公告）日：2025-01-24
公开（公告）号：CN119361407A
专利技术分类：.充气放电管（放电加热的入H05B）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法，该加工时间预测方法通过实验获取新制程下与边缘环材质相同或相近的测试控片边缘的至少一个位置的消耗速率，作为新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，由此可以根据现有制程下的等离子刻蚀腔的加工时间MTBC和边缘环的对应位置的消耗速率以及新制程下边缘环的对应位置的消耗速率，预估出新制程下的等离子刻蚀腔的加工时间，可以以较低的成本且相对及时准确地评估出新制程下等离子刻蚀腔的加工时间，从而避免新制程导入所带来的风险。
专利权项：1.一种等离子刻蚀腔的加工时间预测方法，其特征在于，包括：实验步骤：在导入新制程用于产品生产之前，将测试控片加载到具有边缘环的等离子刻蚀腔中，并采用所述新制程对所述测试控片进行等离子刻蚀，且所述测试控片的材质与所述边缘环相同或相近，在所述等离子刻蚀中，所述测试控片和所述边缘环同步被消耗；关键数据获取步骤：获取所述测试控片的至少一个位置的消耗速率，并获取现有制程下等离子刻蚀腔的加工时间和边缘环对应位置的消耗速率；预估步骤：基于所述测试控片的至少一个位置的消耗速率、所述现有制程下等离子刻蚀腔的加工时间和边缘环对应位置的消耗速率，预估出所述新制程下的等离子刻蚀腔的加工时间。
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 等离子刻蚀腔的加工时间预测方法、系统及维护方法
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