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一种基于平面X射线探测的缺陷定位方法和计算机设备专利

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申请/专利权人:中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

申请日:2024-12-25

公开(公告)日:2025-01-24

公开(公告)号:CN119355012A

专利技术分类:..并形成材料的图片[2018.01]

专利摘要:本发明公开了一种基于平面X射线探测的缺陷定位方法和计算机设备,所述方法包括:将待测器件固定于平面X射线探测设备上,待测器件的长、宽、高分别对应于坐标系的X、Y、Z轴,利用平面X射线对待测器件进行一次探测成像,获取缺陷在X、Y轴方向上的一次位置坐标;使器件的长边一侧翘起一定角度,利用平面X射线对待测器件进行二次探测成像,获取缺陷在X、Y轴方向上的二次位置坐标;根据Y轴方向上的一次位置坐标和二次位置坐标以及器件翘起角度,计算得到缺陷在Z轴方向上的坐标。本发明采用平面X射线探测就能精准三维定位待测器件的内部缺陷,能够实现测试速度更快、经济成本更低的三维缺陷定位。

专利权项:1.一种基于平面X射线探测的缺陷定位方法,其特征在于,包括:步骤S1,将待测器件固定于平面X射线探测设备上,待测器件的长、宽、高分别对应于坐标系的X、Y、Z轴,利用平面X射线对待测器件进行一次探测成像,获取缺陷在X、Y轴方向上的一次位置坐标(X0,Y0);步骤S2,使器件的长边一侧翘起一定角度α,利用平面X射线对待测器件进行二次探测成像,获取缺陷在X、Y轴方向上的二次位置坐标(X0,Y1);步骤S3,根据Y轴方向上的一次位置坐标Y0和二次位置坐标Y1以及器件翘起角度α,计算得到缺陷在Z轴方向上的坐标Z0:Z0=Y0tanα-Y1sinα。

百度查询: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 一种基于平面X射线探测的缺陷定位方法和计算机设备

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