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申请/专利权人：中国人民解放军空军工程大学

申请日：2024-12-26

公开（公告）日：2025-01-24

公开（公告）号：CN119347106A

专利技术分类：.在一特殊环境或气氛中，例如在罩中[2014.01]

专利摘要：本发明属于精密制造加工技术领域，其目的在于提供一种飞秒激光真空原位阀芯柱状元件加工装置、方法、设备及产品。本发明在实施过程中，可通过对工件夹具的位置调节，实现对如柱状元件等待加工元件的位置调整，从而可实现对柱状元件表面不同位置的精准激光加工，克服了传统激光加工装置在加工柱状元件表面微纳结构时的局限；同时，本发明中，所述工件夹具和待加工元件安置在真空容纳腔中进行加工，避免了有氧环境下的金属氧化作用，利于提高表面功能微纳结构的精确诱导，从而实现对对待加工元件表面微纳结构的精确制备。本发明可实现对柱状元件的一次成型及高精度原位加工作业。

专利权项：1.一种飞秒激光真空原位阀芯柱状元件加工装置，其特征在于，包括工控机、工件夹具、真空腔组件、激光发射组件、激光测距组件和振镜加工组件，所述工件夹具、所述真空腔组件、所述激光发射组件、所述激光测距组件和所述振镜加工组件均与所述工控机电连接；其中，所述工件夹具，设置于所述真空腔组件的容纳腔内，用于根据所述工控机下发的工件固定指令，夹持待加工元件；所述真空腔组件，用于根据所述工控机下发的抽真空指令，对所述容纳腔进行抽真空操作；所述激光测距组件，用于实时测量激光发射端与所述待加工元件之间的距离信息，并将所述距离信息发送至所述工控机；所述工控机，用于获取所述待加工元件的材料参数和与所述待加工元件匹配的目标性能参数，并根据所述材料参数、所述目标性能参数和所述距离信息得到目标加工参数；所述激光发射组件，用于根据所述工控机下发的绑定有所述目标加工参数的激光器驱动指令，输出激光束；所述工件夹具，还用于根据所述工控机下发的绑定有所述目标加工参数的位置调节指令，对所述待加工元件进行位置调节操作；其中，所述工件夹具和所述激光发射组件协同动作；所述振镜加工组件，设置在所述激光发射组件的激光输出端，用于根据所述工控机下发的绑定有所述目标加工参数的激光束调节指令，对所述激光束进行调节，以便通过激光束对所述待加工元件进行表面微纳结构加工操作。

百度查询： 中国人民解放军空军工程大学 一种飞秒激光真空原位阀芯柱状元件加工装置