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申请/专利权人：鑫业诚智能装备(无锡)有限公司
申请日：2024-12-31
公开（公告）日：2025-02-07
公开（公告）号：CN119400746A
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：本发明涉及晶圆上料技术领域，具体提供了一种晶圆上料平台，包括底座部分和晶圆盒；所述底座部分包括金属底板和设于金属底板上端的滑动托盘，在所述金属底板与滑动托盘之间设有滑动机构；所述晶圆盒包括盒体，盒体中设有若干自上而下均匀分布的不锈铁料板，单个所述不锈铁料板上端存在一个晶圆放料位；本发明使用滑动式底座部分，再用垂直式快速夹钳固定滑动托盘，提高结构的稳定性，保证晶圆盒位置精度；晶圆盒能够将晶圆隔开放料，适应不同型号晶圆的使用需求，提高设备的使用灵活性和整体生产效率；本发明集承载、调整、夹紧、开盒与关盒等功能于一体，简化流程，提高生产效率与生产规范化程度。
专利权项：1.一种晶圆上料平台，包括底座部分和设于底座部分上端的晶圆盒；其特征在于：所述底座部分包括金属底板（1）和设于金属底板（1）上端的滑动托盘（2），在所述金属底板（1）与滑动托盘（2）之间设有滑动机构（3），所述晶圆盒设于滑动托盘（2）上；所述晶圆盒包括盒体（6），盒体（6）中设有若干自上而下均匀分布的不锈铁料板（7），单个所述不锈铁料板（7）上端存在一个晶圆放料位（71）；所述盒体（6）的前端两侧通过转动连接件装有转轴（8），转轴（8）的上端设有旋钮（9），转轴（8）的外侧套设有转杆（10），转杆（10）自上而下设有若干L型杆（102），单个L型杆（102）可旋转的配合在一个放料位（71）中；所述转杆（10）的下端外侧设有卡夹（101）；所述金属底板（1）的上端两侧还设有开盒模组（11），开盒模组（11）包括气缸（111）和设于气缸（111）输出端的金属挡杆（112），金属挡杆（112）中设有弹簧（113），弹簧（113）的另一端装有销钉（114），销钉（114）上装有可活动滚轮（115）；所述开盒模组（11）的输出端配合推动卡夹（101）活动，使转杆（10）带动L型杆（102）转动开启或关闭放料位（71）。
百度查询： 鑫业诚智能装备(无锡)有限公司 一种晶圆上料平台
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