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申请/专利权人：深圳市美思先端电子有限公司

申请日：2020-11-12

公开（公告）日：2025-02-21

公开（公告）号：CN112255721B

专利技术分类：..干涉滤光片[2006.01]

专利摘要：本发明公开了一种双带通滤光片及其制作方法，其中，双带通滤光片包括膜系结构为满足λ4周期对称的膜系0.5HL0.5HS和0.5LH0.5LS，其中，λ为中心波长，H为锗的λ4层，L为硫化锌的λ4层，S为周期数。本发明的双带通滤光片，通过膜系结构为满足λ4周期对称的膜系0.5HL0.5HS和0.5LH0.5LS，选用锗和硫化锌为镀膜材料构成双带通滤光片，从而可以只用一片滤光片，就能实现两个特定波段的高透过，其余波段截止，在气体红外探测系统中可同时探测同种气体的两个吸收峰或不同种气体的吸收峰，有效提升系统的灵敏度。

专利权项：1.一种双带通滤光片，其特征在于，包括基片（1）、前表面膜层（2）和后表面膜层（3），所述基片（1）位于所述前表面膜层（2）和所述后表面膜层（3）之间，所述前表面膜层（2）和所述后表面膜层（3）均以锗和硫化锌为镀膜材料；与所述基片（1）相邻的膜层为第一层，所述前表面膜层（2）中第一层为硫化锌膜层，最后一层为硫化锌膜层，偶数层均为锗膜层，奇数层均为硫化锌膜层；所述后表面膜层（3）中第一层为硫化锌膜层，最后一层为硫化锌膜层，所述偶数层均为锗膜层，奇数层均为硫化锌膜层；前表面膜层（2）中：第1层几何厚度为68.48nm；第2层几何厚度为92.97nm；第3层几何厚度为164.33nm；第4层几何厚度为93.92nm；第5层几何厚度为168.10nm；第6层几何厚度为92.77nm；第7层几何厚度为200.12nm；第8层几何厚度为121.37nm；第9层几何厚度为212.30nm；第10层几何厚度为107.92nm；第11层几何厚度为179.02nm；第12层几何厚度为92.12nm；第13层几何厚度为197.03nm；第14层几何厚度为97.88nm；第15层几何厚度为168.42nm；第16层几何厚度为91.63nm；第17层几何厚度为165.82nm；第18层几何厚度为79.72nm；第19层几何厚度为84.95nm；第20层几何厚度为73.26nm；第21层几何厚度为171.68nm；第22层几何厚度为84.81nm；第23层几何厚度为174.39nm；第24层几何厚度为92.08nm；第25层几何厚度为307.10nm；第26层几何厚度为112.44nm；第27层几何厚度为335.21nm；第28层几何厚度为130.75nm；第29层几何厚度为327.00nm；第30层几何厚度为124.56nm；第31层几何厚度为368.34nm；第32层几何厚度为120.72nm；第33层几何厚度为318.15nm；第34层几何厚度为164.69nm；第35层几何厚度为252.14nm；第36层几何厚度为168.23nm；第37层几何厚度为273.59nm；第38层几何厚度为171.40nm；第39层几何厚度为242.18nm；第40层几何厚度为170.80nm；第41层几何厚度为318.57nm；第42层几何厚度为117.98nm；第43层几何厚度为343.60nm；第44层几何厚度为174.50nm；第45层几何厚度为190.48nm；第46层几何厚度为187.36nm；第47层几何厚度为377.83nm；第48层几何厚度为76.91nm；第49层几何厚度为348.34nm；第50层几何厚度为551.26nm；第51层几何厚度为1030.47nm；第52层几何厚度为488.13nm；第53层几何厚度为938.66nm；第54层几何厚度为466.81nm；第55层几何厚度为949.02nm；第56层几何厚度为469.07nm；第57层几何厚度为914.17nm；第58层几何厚度为461.29nm；第59层几何厚度为939.91nm；第60层几何厚度为460.47nm；第61层几何厚度为914.50nm；第62层几何厚度为464.38nm；第63层几何厚度为932.68nm；第64层几何厚度为457.36nm；第65层几何厚度为922.48nm；第66层几何厚度为466.21nm；第67层几何厚度为924.05nm；第68层几何厚度为459.13nm；第69层几何厚度为944.74nm；第70层几何厚度为475.38nm；第71层几何厚度为927.16nm；第72层几何厚度为456.90nm；第73层几何厚度为461.03nm；后表面膜层（3）中：第1层几何厚度为319.4nm；第2层几何厚度为42.65nm；第3层几何厚度为216.63nm；第4层几何厚度为119.8nm；第5层几何厚度为614.87nm；第6层几何厚度为306.83nm；第7层几何厚度为430.48nm；第8层几何厚度为80.47nm；第9层几何厚度为73.89nm；第10层几何厚度为174.16nm；第11层几何厚度为631.13nm；第12层几何厚度为276.38nm；第13层几何厚度为578.9nm；第14层几何厚度为253.26nm；第15层几何厚度为600.66nm；第16层几何厚度为281.39nm；第17层几何厚度为564.86nm；第18层几何厚度为273.54nm；第19层几何厚度为572.56nm；第20层几何厚度为195.12nm；第21层几何厚度为167.25nm；第22层几何厚度为84.08nm；第23层几何厚度为266.29nm；第24层几何厚度为103.13nm；第25层几何厚度为193.41nm；第26层几何厚度为265.39nm；第27层几何厚度为560.06nm；第28层几何厚度为272.58nm；第29层几何厚度为460.27nm；第30层几何厚度为142.35nm；第31层几何厚度为159.92nm；第32层几何厚度为63.16nm；第33层几何厚度为1014.38nm；第34层几何厚度为231.47nm；第35层几何厚度为251.62nm；第36层几何厚度为81.56nm；第37层几何厚度为187.74nm；第38层几何厚度为134.68nm；第39层几何厚度为388.56nm；第40层几何厚度为36.21nm；第41层几何厚度为551.35nm；第42层几何厚度为386.51nm；第43层几何厚度为258.19nm；第44层几何厚度为123.45nm；第45层几何厚度为310.28nm；第46层几何厚度为31.96nm；第47层几何厚度为977.54nm；第48层几何厚度为240.51nm；第49层几何厚度为1010.8nm。

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