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龙图腾网恭喜北京时代全芯存储技术股份有限公司申请的专利测试结构及其测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113257788B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-07-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010088655.4，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权测试结构及其测试方法是由廖昱程;刘峻志;张雄世;张明丰设计研发完成，并于2020-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本测试结构及其测试方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种测试结构及其测试方法，所述测试结构包括：第一子测试结构，包括第一串联结构，所述第一串联结构包括第一加热器，以及位于所述第一加热器顶部表面的第一相变层，所述第一加热器的电阻值为待测阻值；第二子测试结构，包括第二串联结构，所述第二串联结构包括第二加热器，以及位于所述第二加热器顶部表面的第二相变层，所述第二相变层与所述第一相变层的阻值相同，所述第二加热器的阻值与所述第一加热器的阻值之比小于设定值；以及所述第一子测试结构和第二子测试结构内的电连接线路的电阻相同。上述测试结构及其测试方法能够准确测量相变存储单元内加热器的阻值。

本发明授权测试结构及其测试方法在权利要求书中公布了：1.一种相变存储器的测试结构，其特征在于，包括：第一子测试结构，包括第一串联结构，所述第一串联结构包括第一加热器，以及位于所述第一加热器顶部表面的第一相变层，所述第一加热器的电阻值为待测阻值；第二子测试结构，包括第二串联结构，所述第二串联结构包括第二加热器，以及位于所述第二加热器顶部表面的第二相变层，所述第二相变层与所述第一相变层的阻值相同，所述第二加热器的阻值与所述第一加热器的阻值之比小于设定值；所述第一子测试结构和第二子测试结构内的电连接线路的电阻相同；所述设定值的范围为10～100；所述第一子测试结构还包括：分别电连接至所述第一串联结构两端的第一输入端和第一输出端；所述第二子测试结构还包括分别电连接至所述第二串联结构两端的第二输入端和第二输出端；所述第一串联结构的两端还分别电连接至第一输入电压感应端和第一输出电压感应端；所述第二串联结构的两端还分别电连接至第二输入电压感应端和第二输出电压感应端；所述第一子测试结构的第一输入端与所述第二子测试结构的第二输入端为共享输入端。

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