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龙图腾网恭喜光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种真空处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221701624U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323228209.7，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种真空处理系统是由张波;余龙;耿生煌;王德智设计研发完成，并于2023-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空处理系统。该真空处理系统包括：工件夹具模块、信号处理模块和控制模块；工件夹具模块包括角度传感单元，工件夹具模块安装有待处理工件，且工件夹具模块设置于真空环境中；工件夹具模块用于带动待处理工件旋转，并通过角度传感器在真空环境中测量待处理工件的旋转角度，生成并输出角度信号至信号处理模块；信号处理模块用于对接收的角度信号进行处理，生成控制信号并输出至控制模块；控制模块用于根据控制信号调控真空处理源的输出，以使待处理工件接收预定设计量的真空处理。本实用新型实施例的技术方案有利于避免因工件夹具模块出现卡顿等情况，对待处理工件的处理效果造成影响，可有效改善真空处理效果。

本实用新型一种真空处理系统在权利要求书中公布了：1.一种真空处理系统，其特征在于，包括：工件夹具模块、信号处理模块和控制模块；所述工件夹具模块包括角度传感单元，所述工件夹具模块安装有待处理工件，且所述工件夹具模块设置于真空环境中；所述工件夹具模块与所述信号处理模块电连接，所述信号处理模块与所述控制模块电连接；所述工件夹具模块用于带动所述待处理工件旋转，并通过所述角度传感单元在真空环境中测量所述待处理工件的旋转角度，生成并输出角度信号至所述信号处理模块；所述信号处理模块用于对接收的所述角度信号进行处理，生成控制信号并输出至所述控制模块；所述控制模块用于根据所述控制信号调控真空处理源的输出，以使所述待处理工件接收预定设计量的真空处理。

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