恭喜纳峰真空镀膜(上海)有限公司史旭获国家专利权
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龙图腾网恭喜纳峰真空镀膜(上海)有限公司申请的专利改进的阴极电弧源过滤管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113903650B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110683431.2,技术领域涉及:H01J37/34;该发明授权改进的阴极电弧源过滤管是由史旭;杨明楚;陈国豪设计研发完成,并于2021-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本改进的阴极电弧源过滤管在说明书摘要公布了:一个用于阴极电弧源的过滤管104a,104b,108包括:具有至少一个弯曲部分104a、104b的过滤管管道,以及用于引导离子通过过滤管管道以从离子中去除大颗粒的第一磁场源;其中,所述设备包括第二磁场源108,其可旋转地安装围绕在过滤管的部分管道上。阴极弧源102和阴极电弧沉积设备106包括本文所述的过滤管,和能够从阴极电弧源中发出的离子束中,过滤掉大颗粒的过滤管。
本发明授权改进的阴极电弧源过滤管在权利要求书中公布了:1.一种用于阴极电弧源的过滤管,所述过滤管包括:具有在不同平面上的两个弯曲部分的过滤管道,以及第一磁场源,用于引导等离子体通过过滤管道以从过滤中去除大颗粒其中,该过滤管包括第二磁场源,该第二磁场源围绕垂直于过滤管道轴线的轴线方向可旋转地安装在两个弯曲部分之间的过滤管道部分的周围;其中,所述第一磁场源包含导电线圈缠绕在过滤管上超过其50%的长度。
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