买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜通威太阳能(成都)有限公司申请的专利一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113430497B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-09-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110860642.9，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备是由石建华;袁强;张海川;孟凡英;程琼;刘正新;周华设计研发完成，并于2021-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备在说明书摘要公布了：一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备，属于半导体制备领域。柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，柔性基材双面镀膜方法包括：S1、在第一表面形成第一膜层。S2、在第二表面形成第二膜层。S3、依次交替重复步骤S1以及S2，直至由多层第一膜层构成的第一薄膜的总厚度、以及由多层第二膜层构成的第二薄膜的总厚度均达到目标厚度为止。利用特定厚度的第一膜层和第二膜层时间上交错形成的方式，可减小第一薄膜和第二薄膜的应力释放，能够缓解因柔性基材双面镀膜造成的薄膜品质下降、柔性基材曲翘、甚至薄膜龟裂等问题，有效提高规模化生产的产品稳定性和良品率。

本发明授权一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种柔性基材双面镀膜方法，其特征在于，所述柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述柔性基材双面镀膜方法包括：S1、在所述第一表面形成第一膜层；S2、在所述第二表面形成第二膜层；S3、依次交替重复步骤S1以及S2，直至由多层所述第一膜层构成的第一薄膜的总厚度、以及由多层所述第二膜层构成的第二薄膜的总厚度均达到目标厚度为止；其中，所述第一膜层的厚度大于0且不大于50nm，所述第二膜层的厚度大于0且不大于50nm，在所述第一表面形成的第一层所述第一膜层的应力曲翘方向与所述柔性基材的自重弯曲方向相反。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人通威太阳能(成都)有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。