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龙图腾网恭喜中勤实业股份有限公司申请的专利气体散流装置及基板悬浮手臂获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN221928038U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-10-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420465067.1，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型气体散流装置及基板悬浮手臂是由范光建设计研发完成，并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体散流装置及基板悬浮手臂在说明书摘要公布了：一种气体散流装置及基板悬浮手臂，所述气体散流装置包含载板及散流件。所述载板具有上表面、下表面，及多个气孔，所述上表面向下凹陷而包含安装面部、出气面部，及向上延伸至所述载板顶缘的下导引面部，所述气孔连通所述下表面及所述上表面的所述出气面部。所述散流件包含中柱，及连接于所述中柱顶端的顶板，所述顶板位于所述气孔上方并与所述载板的所述上表面相间隔。当气体由下往上流经所述载板的所述气孔后，气流在所述散流件的所述顶板的底面、所述中柱及所述载板的所述出气面部间经过多次反射后，通过所述下导引面部的引导后向上流出，产生均匀向上的气流。

本实用新型气体散流装置及基板悬浮手臂在权利要求书中公布了：1.一种气体散流装置，其特征在于：包含：载板，具有上表面、下表面，及多个气孔，所述上表面向下凹陷而包含安装面部、环绕所述安装面部的出气面部，及环绕所述出气面部且向上延伸至所述载板的顶缘的下导引面部，所述气孔连通所述下表面及所述上表面的出气面部；及散流件，包含设置于所述安装面部的中柱，及连接于所述中柱的顶端的顶板，所述顶板位于所述气孔上方并与所述载板的上表面相间隔；所述散流件的顶板的底面、所述中柱，及所述载板的出气面部共同界定出供气流反射的反射空间；当气体由下往上流经所述载板的气孔后，气流在所述反射空间中经过多次反射后，气流通过所述载板的下导引面部的引导而向上流出。

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