昆山捷发电子材料有限公司徐向东获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山捷发电子材料有限公司申请的专利一种硅片带出检测机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222672972U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420187200.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种硅片带出检测机构是由徐向东;高艺诺设计研发完成,并于2024-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片带出检测机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片生产技术领域,公开了一种硅片带出检测机构,包括安装板,所述安装板的上表面一端开设有安装槽,所述安装槽的内壁连接有检测设备,所述安装板的另一端设置有三轴机械臂,所述三轴机械臂的输出端固定连接有安装块,所述安装块的一端开设有限位槽,所述限位槽的内壁滑动连接有限位块,所述限位块的下表面固定连接有第一固定板,所述第一固定板的下表面中心处固定连接有真空吸盘。本实用新型中,启动检测设备,检测硅片从检测设备上面移动过去时,检测设备对硅片进行检测,检测到不合格的硅片,检测设备控制三轴机械臂与真空吸盘将不合格的硅片取下,通过这种设计达到了方便自动检测硅片的效果。
本实用新型一种硅片带出检测机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片带出检测机构,包括安装板1,其特征在于:所述安装板1的上表面一端开设有安装槽2,所述安装槽2的内壁连接有检测设备3,所述安装板1的另一端设置有三轴机械臂7,所述三轴机械臂7的输出端固定连接有安装块8,所述安装块8的一端开设有限位槽9,所述限位槽9的内壁滑动连接有限位块10,所述限位块10的下表面固定连接有第一固定板11,所述第一固定板11的下表面中心处固定连接有真空吸盘12。
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