苏州浦丰鑫电子科技有限公司周伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州浦丰鑫电子科技有限公司申请的专利一种晶圆研磨抛光结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222661257U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323580154.6,技术领域涉及:B24B37/27;该实用新型一种晶圆研磨抛光结构是由周伟设计研发完成,并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨抛光结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆研磨抛光结构,包括底板,所述底板上侧固定连接设有加工座,所述加工座内侧设有固定夹持装置,所述固定夹持装置下侧固定连接设有挡板,所述挡板下侧连接设有第一驱动电机,所述第一驱动电机固定连接于底板一侧,所述加工座外侧设有保护箱,所述保护箱固定连接于底板上侧,所述底板上侧设有下压装置,所述底板上侧远离下压装置的一端固定连接设有抛光液箱,所述抛光液箱上侧固定连接设有输液管,所述输液管上连接设有抽液泵,所述输液管另一端固定连接设有喷头。本实用新型与现有的技术相比的优点在于:提供一种带有固定夹持装置的一种晶圆研磨抛光结构。
本实用新型一种晶圆研磨抛光结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆研磨抛光结构,包括底板1,其特征在于:所述底板1上侧固定连接设有加工座2,所述加工座2内侧设有固定夹持装置7,所述固定夹持装置7下侧固定连接设有挡板4,所述挡板4下侧连接设有第一驱动电机5,所述第一驱动电机5固定连接于底板1一侧,所述加工座2外侧设有保护箱6,所述保护箱6固定连接于底板1上侧,所述底板1上侧设有下压装置3,所述底板1上侧远离下压装置3的一端固定连接设有抛光液箱8,所述抛光液箱8上侧固定连接设有输液管9,所述输液管9上连接设有抽液泵10,所述输液管9另一端固定连接设有喷头11;所述固定夹持装置7包括第二驱动电机701,所述第二驱动电机701底部与挡板4顶部固定连接,所述第二驱动电机701输出轴固定连接设有皮带轮一702且端部转动连接设有圆台703,所述皮带轮一702一侧通过皮带连接设有皮带轮二704,所述皮带轮二704顶部固定连接设有齿轮一705,所述齿轮一705与圆台703底部转动连接,所述圆台703底部设有与齿轮一705相啮合的齿轮二706。
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