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恭喜中国计量科学研究院施玉书获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国计量科学研究院申请的专利一种翼型光学结构的精密位移传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117629078B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311625089.6,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种翼型光学结构的精密位移传感器是由施玉书;张树;王芳;高启元设计研发完成,并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种翼型光学结构的精密位移传感器在说明书摘要公布了:本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器,涉及精密位移测量领域,包括:第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面;激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光;第一偏振光经过第一折光装置入射双凸透镜,经双凸透镜汇聚入射光栅,得到的+1级衍射光束经第一折光装置和第一偏振分光镜后得到第一反射光;第一反射光入射至探测器装置;第二偏振光经第二折光装置入射双凸透镜,经双凸透镜汇聚入射光栅,得到的‑1级衍射光束经第二折光装置和第一偏振分光镜后得到第二反射光;第二反射光入射至探测器装置;探测器装置实现位移测量。本发明提高了光路结构抗环境干扰的能力。

本发明授权一种翼型光学结构的精密位移传感器在权利要求书中公布了:1.一种翼型光学结构的精密位移传感器,其特征在于,所述位移传感器包括:激光装置、第一偏振分光镜、光栅、第一折光装置、双凸透镜、第二折光装置和探测器装置;所述探测器装置位于所述第一偏振分光镜的第二侧面;所述第一折光装置位于所述第一偏振分光镜的第三侧面;所述激光装置位于所述第一偏振分光镜的第一侧面;所述第二折光装置位于所述第一偏振分光镜的第四侧面;所述第一侧面与所述第三侧面相对;所述第二侧面与所述第四侧面相对;所述激光装置用于发出一束激光;所述激光垂直入射所述第一偏振分光镜的第一侧面,被所述第一偏振分光镜分为互相垂直的第一偏振光和第二偏振光;所述第一偏振光从所述第一偏振分光镜的第三侧面射出;所述第二偏振光从所述第一偏振分光镜的第四侧面射出;所述第一偏振光经过所述第一折光装置的两次反射后入射至所述双凸透镜,经所述双凸透镜汇聚后以Littrow角度入射至所述光栅中,得到+1级衍射光束;所述+1级衍射光束经过所述第一折光装置的两次反射和所述第一偏振分光镜的一次反射后得到第一反射光;所述第一反射光的方向与所述第一偏振光的方向垂直;所述第一反射光入射至所述探测器装置中;所述第二偏振光经过所述第二折光装置的两次反射后入射至所述双凸透镜,经所述双凸透镜汇聚后以Littrow角度入射至所述光栅中,得到-1级衍射光束;所述-1级衍射光束经过所述第二折光装置的两次反射后入射至所述第一偏振分光镜,从所述第一偏振分光镜射出得到第二反射光;所述第二反射光的方向与所述第二偏振光的方向一致;所述第二反射光入射至所述探测器装置中;所述第一折光装置包括第一半五角棱镜和第一四分之一波片;所述第一偏振光经过所述第一半五角棱镜的两次反射后入射至所述第一四分之一波片,经所述第一四分之一波片后得到右旋圆偏振光;所述右旋圆偏振光经所述双凸透镜汇聚后以Littrow角度入射至所述光栅中;所述第二折光装置包括第二半五角棱镜和第二四分之一波片;所述第二偏振光经过所述第二半五角棱镜的两次反射后入射至所述第二四分之一波片,经所述第二四分之一波片后得到左旋圆偏振光;所述左旋圆偏振光经所述双凸透镜汇聚后以Littrow角度入射至所述光栅中;所述第一半五角棱镜的第一入射面和所述第三侧面贴合且所述第一入射面和所述第三侧面的尺寸一致;所述第二半五角棱镜的第二入射面和所述第四侧面贴合且所述第二入射面和所述第四侧面的尺寸一致;在所述探测器装置中,所述+1级衍射光束与所述-1级衍射光束发生干涉形成干涉信号,并对所述干涉信号进行处理,实现位移测量;所述探测器装置包括第三四分之一波片、非偏振分光镜、第二偏振分光镜、第一光电探测器、第二光电探测器、第三偏振分光镜、第三光电探测器和第四光电探测器;所述+1级衍射光束垂直入射所述第三四分之一波片,经所述第三四分之一波片后,得到左旋圆偏振光;所述-1级衍射光束垂直入射所述第三四分之一波片,经所述第三四分之一波片后,得到右旋圆偏振光;所述左旋圆偏振光和所述右旋圆偏振光同时垂直入射所述非偏振分光镜;所述非偏振分光镜将所述左旋圆偏振光和所述右旋圆偏振光的合光分为等强的第三偏振光和第四偏振光;所述第三偏振光垂直入射所述第二偏振分光镜发生干涉,得到第一干涉光和第二干涉光;所述第四偏振光垂直入射所述第三偏振分光镜发生干涉,得到第三干涉光和第四干涉光;所述第一光电探测器接收所述第一干涉光得到第一信号;所述第二光电探测器接收所述第二干涉光得到第二信号;所述第三光电探测器接收所述第三干涉光得到第三信号;所述第四光电探测器接收所述第四干涉光得到第四信号;所述第一信号、所述第二信号、所述第三信号和所述第四信号为互相差90度的弦波信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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