恭喜浙大宁波理工学院章金兵获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙大宁波理工学院申请的专利一种颗粒硅表面脱氢的方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116216721B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211723860.9,技术领域涉及:C01B33/02;该发明授权一种颗粒硅表面脱氢的方法及装置是由章金兵;胡动力;周小英设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种颗粒硅表面脱氢的方法及装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种颗粒硅表面脱氢的方法,包括以下步骤:S1:提供密封反应容器、盖板、紫外光源以及臭氧发生器,所述臭氧发生器与所述密封反应容器内部连通,所述紫外光源用于提供紫外线至所述密封反应容器内,所述盖板可活动的设置在所述密封反应容器顶部,在所述密封反应容器的底部铺设待表面脱氢的颗粒硅;S2:打开臭氧发生器,使臭氧气体持续通入至所述密封反应容器内部,同时打开紫外光源,紫外线照射在所述颗粒硅表面,照射结束后,关闭紫外光源,取出颗粒硅,完成表面脱氢。本发明还提供了颗粒硅表面脱氢的装置,本发明提供了一种成本更低,操作简单,处理时间短且耗能少的颗粒硅表面脱氢的方法。
本发明授权一种颗粒硅表面脱氢的方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种颗粒硅表面脱氢的方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:提供颗粒硅表面脱氢装置,所述表面脱氢装置包括密封反应容器1、盖板3、紫外光源2以及臭氧发生器4,所述盖板3可活动的设置在所述密封反应容器1顶部,所述臭氧发生器4通过一连接管5与所述密封反应容器1内部连通,所述紫外光源2用于提供紫外线至所述密封反应容器1内,在所述密封反应容器1的底部铺设待表面脱氢的颗粒硅;S2:打开臭氧发生器4,使臭氧气体持续通入至所述密封反应容器1内部,同时打开紫外光源2,紫外线照射在所述颗粒硅表面,照射结束后,关闭紫外光源2,取出颗粒硅,完成表面脱氢;所述步骤S1中,所述颗粒硅通过堆叠的方式多层铺设在所述密封反应容器1底部,且所述颗粒硅的高度低于所述紫外光源2;所述臭氧发生器4的流量为2-10gh,所述紫外光源2的功率为50-100W,所述照射的时间为30-90分钟。
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