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龙图腾网恭喜晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119324172B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411848231.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机是由陈泳辰;徐传勇;孙文杰设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机，其包括：载架；装配装置；检测装置。本发明一方面通过在保持密封环处于动态中逐段获取密封环的轮廓信息，并基于各段轮廓信息拼凑获取完整的密封环轮廓图像，有效降低外部因素的干扰，成像质量高，同时在多段图像的拼凑中能够同时进行图像的对比检验，提高检测精度；另一方面通过光路发射部件与光路反射部件的配合，能够在狭窄空间内实现更广的成像范围，便于集成于任意晶圆加工设备中，实现密封环快速检测；此外基于载架、装配装置以及检测装置的布局，实现晶圆密封环连续安装、翻转和检测，大大降低累积误差，有效提高装载精度和装载效率。

本发明授权晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆和密封环的安装、翻转、检测一体机，其特征在于，其包括：载架；装配装置，其包括晶圆装配单元、密封环装配单元，其中所述晶圆装配单元包括晶圆载盘、驱动所述晶圆载盘并带动晶圆调整自身中心的对位动力部件、升降动力部件；所述密封环装配单元包括设置在所述晶圆载盘上方并用于密封环和晶圆对位组装的装配载具、驱动所述装配载具绕着自身轴心线转动的装配动力部件、驱动所述装配载具翻转以将晶圆和密封环朝向所述载架的翻转动力部件，其中在所述载架上设有晶圆挂具，翻转朝向所述晶圆挂具的晶圆和密封环在所述装配动力部件的驱动下装载或卸载；检测装置，包括光路单元和图像处理单元，所述光路单元包括呈环形阵列分布的多个光路发射部件、以环形阵列中心为基准且对齐设置的光路反射部件，其中多个所述光路发射部件所发射的光束形成光束检测区；所述图像处理单元包括与所述光路反射部件中心对齐且位于所述光路反射部件下方的视觉相机、图像处理器；所述密封环的中心线与环形阵列中心线平行地装载于晶圆挂具上，所述检测装置还包括驱动所述晶圆挂具沿着环形阵列径向运动的移载器，所述密封环逐段经过所述光束检测区，所述光路反射部件逐段获取所述密封环反射的轮廓信息，所述视觉相机将所述轮廓信息转换成图像信息并汇总至所述图像处理器以拼凑成整个所述密封环轮廓，且基于所述密封环轮廓图像检测密封环的圆心位置。

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