恭喜浙江大学陈远流获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119291234B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411837165.4,技术领域涉及:G01Q20/00;该发明授权一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法是由陈远流;段明宇;唐金岩;王雨阳设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法,包括步骤S1,准备显微镜、探针、锁相放大器、待测样品、蓝宝石片和PC上位机;步骤S2,探针参数标定;步骤S3,搭建共振频率测量设备;步骤S4,固定样品;步骤S5,共振频率检测,再采集待测样品表面的形貌和共振频率的测试结果并输送至PC上位机;步骤S6,数据处理,计算形貌结果对应的倾斜角度;绘制共振频率与倾斜角度的对应关系,随后采用探针‑样品接触模型求解侧向刚度与法向刚度之比;随后将代入探针‑样品接触模型,将测试结果的每个像素点还原为压痕模量,完成形貌耦合的解耦。
本发明授权一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法在权利要求书中公布了:1.一种解耦接触共振原子力显微镜形貌与共振频率的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤S1,准备器材:包括显微镜、探针、锁相放大器、待测样品、蓝宝石片和PC上位机;所述显微镜为原子力显微镜,所述探针为原子力显微镜探针;步骤S2,探针参数标定:将探针安装至原子力显微镜,并使用蓝宝石片校准探针灵敏度;随后通过热噪声法校准探针刚度;步骤S3,搭建共振频率测量设备:将原子力显微镜的四象限光电探测器的响应信号接出至锁相放大器信号输入口;响应信号为四象限光电探测器的上板电压与下板电压的差值,响应信号用于反映原子力显微镜探针在纵向的偏转;将锁相放大器的激励信号输出口接至原子力显微镜探针的压电陶瓷驱动接口,激励信号用于驱动探针产生机械振动;步骤S4,固定样品:将样品通过真空吸附固定在原子力显微镜载物台上,随后移动到原子力显微镜检测区域;步骤S5,共振频率检测:记录原子力显微镜的设定值Setpoint,设定值Setpoint为探针悬臂的工作偏转量,所述工作偏转量用于与步骤S2所述探针灵敏度相乘计算接触力;进针并接触样品,在10nm范围使用锁相放大器给探针10-50mV的电压驱动,随后通过锁相放大器扫频搜索探针共振频率,选取二阶共振峰并锁相后进行接触共振频率扫描,采集待测样品表面的形貌结果;将形貌结果和共振频率的信号输送至PC上位机;步骤S6,数据处理:PC上位机基于形貌结果计算所述探针的倾斜角度,并绘制共振频率与倾斜角度的对应关系,随后采用探针-样品接触模型求解所述探针的侧向刚度与法向刚度之比;随后将代入探针-样品接触模型,将测试结果的每个像素点还原为压痕模量,完成形貌耦合的解耦。
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