买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜安徽华远装备科技有限公司申请的专利一种靶材溅射方法及其设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119243095B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411795500.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种靶材溅射方法及其设备是由吴建清;梅艳慧;叶显飞设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶材溅射方法及其设备在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材溅射技术领域，具体涉及一种靶材溅射方法及其设备，通过在真空腔体内设有基片台，在真空腔体内转动连接有旋转台，在真空腔体的侧端设有激光通道，激光通道的末端活动连接有激光发生器，根据不同熔点的靶材，对应选择发射不同波长的激光束，激光束的能量轰击靶材，激发靶材材料沉积在基片料上，激光发生器沿激光通道的末端往复抖动，以使激光束沿靶材的径向方向往复移动照射，实现靶材的全面溅射，靶材利用率很高，旋转台分别设于真空腔体内上部和下部，用于朝向基片料的正面和背面进行沉积，不受蒸镀的方向限制，不受蒸发源的安装方式影响，实现了一种新的靶材溅射方法，达到降低设备成本及技术要求的效果。

本发明授权一种靶材溅射方法及其设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材溅射设备，包括真空腔体1，其特征在于：所述真空腔体1内设有基片台2，所述真空腔体1内转动连接有旋转台4，用于固定放置靶材5并带动靶材5轴向自转；所述真空腔体1的侧端设有激光通道6，所述激光通道6内设有透光玻璃8，激光发生器7的出光一端转动连接于激光通道6末端内，所述激光发生器7发出的激光束70透过透光玻璃8照射在靶材5上；所述激光通道6的末端固定设有圆弧管道9，所述激光发生器7的出光一端连接有转轴71，并通过转轴71转动连接于激光通道6末端内，所述转轴71的侧端连接有径向杆72，所述径向杆72的一端贯穿于圆弧管道9，且穿出圆弧管道9外的一端上转动连接有细轴10，所述细轴10上连接有转盘11，激光发生器7出光端的一侧连接有侧板73，所述侧板73的内侧端与转盘11相抵接，通过所述细轴10带动转盘11偏心转动，推动侧板73和激光发生器7的出光端往复抖动；所述圆弧管道9的侧端连接有多个伸缩销杆12，所述伸缩销杆12的活动端位于圆弧管道9内并成伸出状态时，用于抵接径向杆72伸入圆弧管道9内的一端，各相邻伸缩销杆12的活动端之间形成单个照射方位，以使激光发生器7在单个照射方位内往复抖动，直至伸缩销杆12的活动端缩回，以使径向杆72落入相邻下方的照射方位内；最上端的伸缩销杆12的固定端固定连接于圆弧管道9侧端上，剩余的伸缩销杆12的固定端滑动连接于圆弧管道9的侧端上，各伸缩销杆12之间连接有弹性绳13，通过拉动所述弹性绳13，用于调节各伸缩销杆12之间的间距，通过所述伸缩销杆12的活动端完全伸出，并抵紧在圆弧管道9的内侧壁上，用于形成固定角度的照射方位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽华远装备科技有限公司，其通讯地址为：242000 安徽省宣城市经济技术开发区清流路99号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。