上海芯绒科技有限公司许森获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯绒科技有限公司申请的专利MEMS超声传感器及超声检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222684290U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421539667.4，技术领域涉及：B81C1/00；该实用新型MEMS超声传感器及超声检测装置是由许森设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS超声传感器及超声检测装置在说明书摘要公布了：本申请涉及传感器技术领域，具体而言，涉及一种MEMS超声传感器及超声检测装置。所述MEMS超声传感器，包括：敏感薄膜，其沿厚度方向具有第一表面和第二表面；基座，设置于所述第一表面，并沿所述压力敏感膜的边缘一圈设置；压电薄膜，设置于所述第二表面，并被配置为能够将所述敏感薄膜的形变转换为电信号；其中，所述基座的内壁面和所述敏感薄膜的第一表面的相交处为弧面。本申请实施例提供的MEMS超声传感器，能够避免应力在角区集中，有利于提高传感器的可靠性。
本实用新型MEMS超声传感器及超声检测装置在权利要求书中公布了：1.一种MEMS超声传感器，其特征在于，包括：敏感薄膜，其沿厚度方向具有第一表面和第二表面；基座，设置于所述第一表面，并沿所述压力敏感膜的边缘一圈设置；压电薄膜，设置于所述第二表面，并被配置为能够将所述敏感薄膜的形变转换为电信号；其中，所述基座的内壁面和所述敏感薄膜的第一表面的相交处为弧面。
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