通威太阳能(安徽)有限公司王涛获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(安徽)有限公司申请的专利一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110034056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910405396.0,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构是由王涛;余波;杨蕾设计研发完成,并于2019-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构,包括慢提拉槽,所述慢提拉槽内设置有托盘,所述托盘上等距间隔设置有若干隔离板,所述隔离板两侧面均开设有引流槽。所述隔离板两侧面设置的引流槽呈交叉分布,每个侧面的引流槽设置有10‑15根,且引流槽宽度为0.5‑0.7mm,深度为0.3‑0.4mm。本发明在不对现有槽体结构与夹具工装进行改变的情况下,简单对慢提拉槽体内的托盘进行改造,增加一组等距间隔的隔离板,并且通过其上开设的引流槽,能够有效防止薄硅片的粘连,提高硅片良品率,实用性很强,非常值得推广。
本发明授权一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构在权利要求书中公布了:1.一种防止硅片粘连的慢提拉槽体结构,包括慢提拉槽1,所述慢提拉槽1内设置有可升降的托盘2,其特征在于:所述托盘2的中间等距间隔设置有若干隔离板3,所述隔离板3两侧面均开设有引流槽4;所述托盘2的四个拐角处均固定设置有花篮卡点5; 所述隔离板3高度为6-8cm,所述隔离板3两侧面设置的引流槽4呈交叉分布。
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