东京毅力科创株式会社中野征二获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置、基板处理方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109148329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201810632233.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置、基板处理方法以及存储介质是由中野征二设计研发完成，并于2018-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板处理方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及存储介质。该基板处理装置具备：第一加载端口2A、2B和第二加载端口2C、2D，所述第一加载端口2A、2B和第二加载端口2C、2D以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧；处理部D2，其对基板进行处理；检查组件4，其用于对处理部D2处理前或处理后的基板进行检查；以及基板搬送机构，其用于向处理部D2、载置于加载端口的搬送容器以及检查组件4交接所述基板。
本发明授权基板处理装置、基板处理方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 第一加载端口和第二加载端口，所述第一加载端口和第二加载端口以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧； 处理部，其对所述基板进行处理； 检查组件，其用于对所述处理部处理前或处理后的所述基板进行检查；以及 基板搬送机构，其用于向所述处理部、载置于加载端口的搬送容器以及所述检查组件交接所述基板， 其中，所述检查组件在左右方向上设置于所述第一加载端口与所述第二加载端口之间， 所述基板搬送机构具备： 第一基板搬送机构，其设置于所述检查组件的左右方向上的一侧，用于向所述处理部和载置于所述第一加载端口的搬送容器分别交接所述基板；以及 第二基板搬送机构，其设置于所述检查组件的左右方向上的另一侧，用于向所述检查组件和载置于所述第二加载端口的搬送容器分别交接基板。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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