上海昶火微电子科技有限公司谢超伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海昶火微电子科技有限公司申请的专利一种无接触式硅片搬运系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222683625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420854215.9，技术领域涉及：B65G47/91；该实用新型一种无接触式硅片搬运系统是由谢超伟;潘吉;殷智俊设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无接触式硅片搬运系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片搬运领域，具体涉及一种无接触式硅片搬运系统，包括两个旋转气缸和两个硅片限位机构，两个硅片限位机构通过固定板固定安装于安装板的顶端，两个旋转气缸分别可拆卸的安装于安装板两侧中部，多个吸盘均位于两个硅片限位机构的底端之间。该装置通过设置多个吸盘、两个硅片限位机构和两个旋转气缸，使得对硅片搬运时，两个硅片限位机构的底端与两个旋转气缸的底端配合，对硅片进行夹紧限位，保证运行多个吸盘时，硅片不会向上运动，硅片的上表面不会与吸盘的下表面接触，能够避免硅片的上表面由于接触而受到污染，保证硅片后续的加工效果；而且该装置能够同时对两个硅片进行夹持搬运，提升搬运效率。
本实用新型一种无接触式硅片搬运系统在权利要求书中公布了：1.一种无接触式硅片搬运系统，其特征在于，包括两个旋转气缸4和两个硅片限位机构3，两个硅片限位机构3通过固定板2固定安装于安装板1的顶端，两个旋转气缸4分别可拆卸的安装于安装板1两侧中部，安装板1的底端可拆卸的安装有多个吸盘5，多个吸盘5均位于两个硅片限位机构3的底端之间。
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