重庆电子工程职业学院李蕾获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆电子工程职业学院申请的专利一种金刚石气相沉积生产装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222684746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420864510.2,技术领域涉及:C23C16/27;该实用新型一种金刚石气相沉积生产装置是由李蕾设计研发完成,并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种金刚石气相沉积生产装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种金刚石气相沉积生产装置,包括加热网、基体、原料气体输送管道和金刚石衬底。加热网包括有多个加热丝,多个加热丝间隔设置成一张加热网,加热网与灯丝电源连接;加热丝的两侧相对的设置有基体,且基体与加热丝间隔设置,基体内部设置有空心腔,每个基体的面向加热丝的侧面上开设有与空心腔连通的出气槽;原料气体输送管道一端能与原料气体源连通,另外一端从基体的外侧伸入空心腔内;金刚石衬底有多个,多个金刚石衬底间隔、能拆卸的设置在基体面向加热丝的一侧。本金刚石气相沉积生产装置,能有效的解决热丝CVD金刚石生长技术中气体输运的难题,从而解决提高金刚石厚度不均匀,而且生长速率非常慢的问题。
本实用新型一种金刚石气相沉积生产装置在权利要求书中公布了:1.一种金刚石气相沉积生产装置,其特征在于,包括:加热网,包括有多个加热丝,多个所述加热丝间隔设置成一张所述加热网,所述加热网与灯丝电源连接;基体,所述加热丝的两侧相对的设置有所述基体,且所述基体与所述加热丝间隔设置,所述基体内部设置有空心腔,每个所述基体的面向所述加热丝的侧面上开设有与所述空心腔连通的出气槽;原料气体输送管道,所述原料气体输送管道一端能与原料气体源连通,另外一端从所述基体的外侧伸入所述空心腔内;及金刚石衬底,有多个,多个所述金刚石衬底间隔、能拆卸的设置在所述基体面向所述加热丝的一侧。
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