上海良薇机电工程有限公司纪雪峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统及半导体工艺系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222677256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420784117.2，技术领域涉及：B01D19/00；该实用新型一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统及半导体工艺系统是由纪雪峰;巴涵设计研发完成，并于2024-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统及半导体工艺系统，脱气系统包括加热部件、连通部件、震荡部件、第一气体过滤部件和第二气体过滤部件。其优点在于，通过将液态源设备、加热液源设备与加热部件连通，实现对液态源的加热，便于液态源含有的气体的溢出；通过将震荡部件设置在连通部件，震荡部件的震动带动连通部件的震动，可将溶解在液态源内的气泡浮于液态源的表面，便于气体的溢出；通过将连通部件和第一气体过滤部件连通，通过将液态源通过加热、震荡所溢出的气体经由过滤板上的滤膜扩散；通过将第一气体过滤部件与第二气体过滤部件连通，使得液态源种的游离态气体和溶解态气体由PFA滤膜释出，以完成对液态源的脱气作业。
本实用新型一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种用于去除TEOS液体中He气的脱气系统，其特征在于，包括：加热部件，所述加热部件分别与液态源设备和加热液源设备连通，用于对液态源进行加热；连通部件，所述连通部件与所述加热部件连通，并位于所述加热部件的下游，用于输送加热后的液态源；震荡部件，所述震荡部件设置于所述连通部件，并位于所述加热部件的下游，用于对经过所述加热部件加热的液态源进行震荡；第一气体过滤部件，所述第一气体过滤部件与所述连通部件连通，并位于所述连通部件的下游，用于对液态源经过所述加热部件所溢出的气体进行过滤；第二气体过滤部件，所述第二气体过滤部件与所述第一气体过滤部件，并位于所述第一气体过滤部件的下游，用于过滤液态源含有的游离态气体和溶解态气体。
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