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龙图腾网恭喜镓特半导体科技(铜陵)有限公司申请的专利一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222684835U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420566054.3，技术领域涉及：C30B25/08；该实用新型一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器是由姚惟梁;王亮设计研发完成，并于2024-03-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器,包括：镓舟；镓反应室；主进气管；副进气口；气体流通口，所述气体流通口开设在多层反应室内除最底层的其余反应室内；镓反应出口，所述镓反应出口开设在镓反应室的底部；混合室，所述混合室设置在镓舟内部且位于镓反应室的底部；反应主出口，所述反应主出口开设在混合室的底部中央区域；反应副出口，所述反应副出口开设在混合室的底部边缘区域；主出气管，所述主出气管一端与混合室的底部连接将反应主出口和反应副出口分隔，另一端与镓舟的底部中央连通；副出气管。本实用新型的有益效果是主副出气管排出的气体，都能够均匀的在衬底表面沉积，可以提升氮化镓晶圆片生长尺寸。

本实用新型一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器在权利要求书中公布了：1.一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器,其特征是：包括：镓舟（1）；镓反应室（2），所述镓反应室设置在镓舟内部的上部，所述镓反应室在垂直方向具有多层反应室；主进气管（3），所述主进气管一端与镓舟的顶部中央连通，另一端穿过镓反应室的中央；副进气口（4），所述副进气口有两个，开设在镓舟的底部且对称分布在主进气管的两侧；气体流通口（5），所述气体流通口开设在多层反应室内除最底层的其余反应室内；镓反应出口（6），所述镓反应出口开设在镓反应室的底部；混合室（7），所述混合室设置在镓舟内部且位于镓反应室的底部；反应主出口（8），所述反应主出口开设在混合室的底部中央区域；反应副出口（9），所述反应副出口开设在混合室的底部边缘区域；主出气管（10），所述主出气管一端与混合室的底部连接将反应主出口和反应副出口分隔，另一端与镓舟的底部中央连通；副出气管（11），所述混合室的底部除主出气管外的部分形成副出气管。

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