恭喜创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网恭喜创微微电子(常州)有限公司申请的专利片篮托架、晶圆干燥设备及晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222690654U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420411097.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型片篮托架、晶圆干燥设备及晶圆清洗设备是由左国军;王雪松;庄海云设计研发完成，并于2024-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本片篮托架、晶圆干燥设备及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种片篮托架、晶圆干燥设备和晶圆清洗设备。所述片篮支架包括：两个第一限位底板，限制所述第一尺寸片篮向两侧移动；支撑底架，支撑所述第一尺寸片篮的底部；两个限位侧板，设置在所述第一限位底板的两端，两个第一限位底板之间设有与限位侧板平行的限制板，限制板与其中一限位侧板配合限制第一尺寸片篮向限位侧板移动，两个限位侧板限制第二尺寸片篮向所述限位侧板移动；多个限位角，分别设置在两个所述第一限位底板上，限制第二尺寸片篮向两侧移动。本实用新型提出的片篮托架可以兼容放置两种尺寸大小的片篮，解决了现有技术更换不同尺寸的片篮需要更换不同尺寸的片篮托架，容易造成清洗或烘干失效的问题。
本实用新型片篮托架、晶圆干燥设备及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种片篮托架，其特征在于，所述片篮支架包括：两个第一限位底板，两个所述第一限位底板间隔并且平行设置，两个所述第一限位底板之间的间隔与第一尺寸片篮底部的宽度相对应，限制所述第一尺寸片篮向两侧移动；支撑底架，所述支撑底架设置在所述第一限位底板下方，支撑所述第一尺寸片篮的底部；两个限位侧板，两个所述限位侧板垂直设置在所述第一限位底板的两端，两个所述第一限位底板之间设有与所述限位侧板平行的限制板，所述限制板与其中一限位侧板配合限制第一尺寸片篮向限位侧板移动，两个所述限位侧板限制第二尺寸片篮向所述限位侧板移动；多个限位角，多个所述限位角分别设置在两个所述第一限位底板上，所述限位角限制第二尺寸片篮向两侧移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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