恭喜厦门韫茂科技有限公司杜林昕获国家专利权
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龙图腾网恭喜厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种控制气流均匀性的尾气装置、等离子沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222684760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420401022.8，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种控制气流均匀性的尾气装置、等离子沉积设备是由杜林昕;郭政煌;唐余海设计研发完成，并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种控制气流均匀性的尾气装置、等离子沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种控制气流均匀性的尾气装置、等离子沉积设备，涉及化学气相沉积设备技术领域。其适于连接在反应腔室的出气口部，包括连接在反应腔室出气口部两侧的第一尾气通道和第二尾气通道，所述第一尾气通道与第二尾气通道连接有泵体以将反应腔室内的尾气抽出，所述第一尾气通道与第二尾气通道分别设置有智能控制阀以控制所述第一尾气通道与第二尾气通道内的压力或者流量相同或者趋于相同以使得反应腔室内的气流流场均匀。通过本方案，使得反应腔体内的流场更加均匀，有利于提高晶片的薄度均匀。
本实用新型一种控制气流均匀性的尾气装置、等离子沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种控制气流均匀性的尾气装置，其适于连接在反应腔室的出气口部，其特征在于，包括连接在反应腔室出气口部两侧的第一尾气通道和第二尾气通道，所述第一尾气通道与第二尾气通道连接有泵体以将反应腔室内的尾气抽出，所述第一尾气通道与第二尾气通道分别设置有智能控制阀以控制所述第一尾气通道与第二尾气通道内的压力或者流量相同或者趋于相同以使得反应腔室内的气流流场均匀；所述智能控制阀包括溢流阀，所述第一尾气通道与第二尾气通道上均设置有一溢流阀以通过溢流阀控制所述第一尾气通道与第二尾气通道内的流量相同或者趋于相同。
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