恭喜常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网恭喜常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116180056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310126862.8，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备是由左国军;朱海剑设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种超大产能真空镀膜腔以及用于异质结技术的真空镀膜设备，超大产能真空镀膜腔具有一内腔，所述内腔上部设有分气组件，所述分气组件至少包括由上至下依次由气孔连通的第一分气板、第二分气板，能够极大地改善腔内气流场均匀性差的问题，凸台状的导热件，减少加热器和硅片的距离，来提高加热效率和温度均匀性，保证了内腔镀膜的工艺效果；同时直线式多工艺腔排布方式，也同步降低了生产节拍，大大增加了设备产能。
本发明授权超大产能真空镀膜腔及用于异质结技术的真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种超大产能真空镀膜腔，其特征在于：具有一内腔2，所述内腔2上部设有分气组件7，所述分气组件7至少包括由上至下依次由气孔连通的第一分气板71、第二分气板72；所述内腔2置有一载板3，所述载板3包括载板框架31，所述载板框架31阵列均布有多个子托盘32，所述子托盘32可放置多个工件；所述内腔2置有一加热组件61，所述加热组件61上设有多个导热件62，所述导热件62位于所述子托盘32下方，并一一对应；所述子托盘32与所述导热件62之间具有第一间隙，所述导热件与所述导热件之间具有第二间隙，所述第二间隙宽度值比所述载板框架31上垂直的竖筋厚度值多3mm-5mm，多个所述加热组件61的下表面平面度和所述导热件62的上表面的平面度均小于等于0.1mm-0.5mm。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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